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洁净室的分类


    1.并装局部洁净室:将洁净室等级 10,000~100,000 之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为 10~1000 级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净 工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台:等级 Class 1~100 级。洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采 用独立之 HEPA 或 ULPA 及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为 10~1000 级,高度在 2.5 米左右,覆盖面积约 10m2 以下,四支支柱并加装活动轮可为弹性运用。

    洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至 100 级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到 良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界 及半导体业界均适用。
   
    2.复合式: 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

    3.层流式: 层流式空气气流运动成一均匀之直线形, 空气由覆盖率 100%之过滤器进入室内, 并 由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其 洁净室等级为 Class 1~100。

其型式可分为三种:
    水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风, 尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。 

    垂直层流式:房间天花板完全以 ULPA 过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高 之洁净度,在

制程中或工作人员所 产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

    乱流式: 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室, 并由洁净室两侧 隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适 用于洁净室等级 1,000-100,000 级。

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